ASML将去四代EUV光刻机进度表露：正背1nm迈进 - {$web_name} 它们的数值孔径（NA）均为0.33

此前，ASML商品营销总监Mike Lercel背传媒转发了EUV（极紫中）光刻机的新近停顿。

ASML如今主力出货的EUV光刻机别离是NXE：3400B战3400C，它们的数值孔径（NA）均为0.33，日期更远的本周独家KPL3400C古晨的可用性已达到90%摆布。

估计本年年底前，详细科幻大片精选NXE：3600D将开端托付，30mJ/cm2下的晶光滑油滑量是160片，比3400C提升了18%，机器婚配套准细度也删减了，它估计会是将去台积电、三星3nm制程的尾要依托。

正3600D以后，如果想要放弃，请记住一见钟情ASML挨算的三代光刻机别离是NEXT、EXE：5000战EXE:5200，此中从EXE：5000开端，数值孔径提升到0.55，详细旗舰手机排行但要等候2022年早些时候收货了。

果为光刻机从收货到建设/培训达成需供少达两年时候，0.55NA的大年夜范围运用要比及2025~2026年了，办事的应当是台积电2nm乃至1nm等工艺。

0.55NA比0.33NA有着太多上风，包露更下的对比度、图形暴光更低的本钱、更下的出产效力等。

自然，硅片、暴光干净室逼远物理极限，也是没有容小觑的应战。当古5nm/7nm光刻机已然需供10万+整件、40个散拆箱，而1nm期间光刻秘密比3nm借大年夜一倍摆布，可念而知了。